GB/T30839.46-2015工业电热装置能耗分等第46部分:单晶炉.pdf

更新时间: 2024-06-19
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GB/T30839的本部分规定了单晶炉能耗等级指标和计算方法本部分适用于直拉式单晶炉和区熔式硅单晶炉。

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