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发布时间：
2012-07-25 19:03:59
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本资料“MEMS微结构变形行为尺度效应的研究进展”由建虎网会员“心碎了”上传，资料大小：344.92 KB，资料格式：.rar，详情请下载参考。 TAG标签：微结构,研究进展,尺度,变形,效应,MEMS, MEMS small structure is out of shape the research of act scale eff