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发布时间:  2012-07-25 23:30:44
文档简介:  本资料“多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计”由建虎网会员“浮生若梦”上传,资料大小:307.09 KB,资料格式:.rar,详情请下载参考。 TAG标签:薄膜,纳米,结构设计,牺牲,敏感,压力,多晶硅, Sensitive structure designs force of lamination of sacrific