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发布时间:  2012-07-26 10:17:49
文档简介:  本资料“谐振式硅微机械加速度计研究进展”由建虎网会员“心碎了”上传,资料大小:313.51 KB,资料格式:.rar,详情请下载参考。 TAG标签:加速度计,谐振,研究进展,微机, Accelerometer of small machine of syntonic type silicon considers to make progre