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发布时间：
2012-11-17 18:10:17
文档简介：
标准术语 2．0．1 洁净室 clean room 空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱 入、产生及滞留的粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要 求进行控制。 2．0．2 洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用