纯水高纯水国标及相关标准大汇总.pdf
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中国国家实验室用水规格GB6682-92
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别 指标
EW-I EW-II
电阻率MΩ.cm(25℃) 18 以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13
硅≤μg/l 2 10
>1μM 微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
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中国国家实验室用水规格GB6682-92
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别 指标
EW-I EW-II
电阻率MΩ.cm(25℃) 18 以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13
硅≤μg/l 2 10
>1μM 微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
