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纯水高纯水国标及相关标准大汇总.pdf

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2012-11-08
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给水规范图集
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中国国家实验室用水规格GB6682-92
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别 指标
EW-I EW-II
电阻率MΩ.cm（25℃） 18 以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13
硅≤μg/l 2 10
>1μM 微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
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