GB50809-2012硅集成电路芯片工厂设计标准规范.pdf

硅集成电路芯片工厂设计标准规范共分八章，主要内容为：总则、术语、工艺设计、总体设计、建筑与结构、防微振、冷热源、给排水及消防、电气。