本规范共分12章和3个附录,主要内容包括:总则,术语,基本规定,厂址选择及厂区规划,工艺设计,电气及自动化,辅助设施,建筑结构,给水、排水和消防,采暖、通风与空气调节,环境保护、安全和卫生,节能、余热回收等。
1.0.1为规范多晶硅工厂的工程设计,提高工程设计质量,做到技术先进、经济合理、安全可靠、环保节能,制定本规范。
1.0.2本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
1.0.3多晶硅工厂设计应积极采用节能、环保、高效、先进的装备和工艺,提髙资源、能源利用率,实现物料、能源综合利用和清洁生产。
1.0.4多晶硅工厂设计除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。