GB/T34177-2017光刻用石英玻璃晶圆.pdf
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本标准规定了光刻用石英玻瑞晶圆（以下简称石英玻瑞晶圆）的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存．本标准适用于半导体集成电路、光通讯、徽机电系统（ MEMs ）、光电器件和发光二极管（ LED ）等光刻工艺中用做衬底的石英玻瑞晶圆。
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本标准规定了光刻用石英玻瑞晶圆（以下简称石英玻瑞晶圆）的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存．本标准适用于半导体集成电路、光通讯、徽机电系统（ MEMs ）、光电器件和发光二极管（ LED ）等光刻工艺中用做衬底的石英玻瑞晶圆。