GB/T33826-2017玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法.pdf
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本标准规定了用触针式轮廓仪法测盆玻瑞衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及侧试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm?1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
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本标准规定了用触针式轮廓仪法测盆玻瑞衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及侧试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm?1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。