JC/T1048-2018单晶硅生长用石英坩埚.pdf

更新时间: 2024-03-29
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资料简介

本标准规定了单品硅生长用石英坩埚(以下简称石英坩埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存•本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单品硅材料的石英坩埚。

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